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Brooks壓力控制器PC100系列資料

金屬密封壓力控制器穩定的壓力控制以及更高的過程氣體純度，最大限度優化處理效果

布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設計特點是經久耐用，同時還具備持久和得到認可的準確性，液體測量和控制領域的企業用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術用于自身業內的熱質量流量控制器。

電子壓力控制器不存在傳統機械彈簧式隔膜壓力調節器所導致的衰減和滯后問題。同時，選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度，原因是此類控制器不使用會發生氧滲透的彈性體，并且金屬密封件能夠減少維護次數可無限期使用。

另外還提供帶有內部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內進行壓力控制。結果：能夠始終確保關鍵半導體工藝準確執行并得到嚴格控制的壓力控制器。

應用

硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

設計精密的表面涂層

分析系統

真空處理應用

以上內容由上海維特銳提供；詳情請點擊：Brooks壓力控制器PC100系列資料